所謂的超程是真空開關觸頭完全閉合后，動或靜觸頭所能移動的距離。超程的作用主要有三點，一是保證觸頭在電磨損后仍能保持一定的接觸壓力；二是觸頭閉合時能利用觸頭彈簧力緩沖，減小彈跳；三是，在觸頭分閘時，使動觸頭獲得一定的初始的動能，拉斷熔焊點，提高初始分閘速度，減小燃弧時間，從而提高介質恢復的速度。
如果超程太小，就不能保證觸頭在燒損后應有的觸頭壓力，同時，初始分閘速度變小，會影響真空開關的開斷關合和動熱穩定性能，甚至產生重合閘彈振。若超程太大，會增加操作機構的合閘功，使合閘變得極不可靠。真空開關的超程取額定開距的15%～40%左右，10 kV級真空開關的超程一般取3～4 mm?，F在的真空開關動靜觸頭之間的接觸一般采用平板接觸，要保證接觸良好，就要保證相當的接觸壓力，超程是指開關動靜觸頭接觸后，觸頭彈簧的壓縮行程，其目的是為了保證接觸壓力，從而保證開關接觸良好。
